全自动氦质谱检漏仪型是一款液晶触摸彩屏显示的全自动氦质谱检漏仪。主要配置采用检漏仪定制产品。设备内芯的制造借鉴*技术，整机设置合理、性能稳定。具有灵敏度高，反应快，开机时间短等特点。检漏效果达到*水平。 

全自动氦质谱检漏仪主要技术指标

1、真空模式小可检漏率：5×10 -13Pa•m3 /s（5×10 -12mbal/s）

真空模式漏率显示范围：1×10 -1—1×10 -13Pa•m3 /s

2、吸枪模式小可检漏率：5×10 -9Pa•m3 /s（5×10 -8mbal/s）

吸枪模式漏率显示范围：1×10 -1—1×10 -10Pa•m3 /s

3、启动时间：≤3min

4、响应时间：≤0.5s

5、检漏口的压力：1500Pa

6、电源要求：220v，50Hz，单相，10A

7、工作环境：5-35℃

9、相对湿度：≤80%

9、外形尺寸：500（W）×400（D）×380（H）

10、重量：W 型 42kg，D 型 22kg

全自动氦质谱检漏仪主要配置

1、德国普发检漏仪分子泵（*）

2、W 为油式机械泵，D 为干式机械泵

3、定制检漏仪电磁阀

4、阀体

5、原装晶圆放大器

6、采用质谱模块

7、液晶触摸彩屏

8、双灯丝（氧化钇金丝），自动调氦峰，自动切换

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