什么是纳米定位台
压电纳米定位台是以压电陶瓷作为驱动源，结合柔性铰链机构实现X/Z/XY/XZ/XYZ轴精密运动的压电平台。运动范围可达375μm，具有体积小、无摩擦、响应速度快等特点，配置高精度传感器，可以实现纳米级分辨率及定位精度且具有极高的可靠性，压电纳米定位台在精密定位领域中发挥着至关重要的作用。
纳米定位台如何满足纳米调节使用？
晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性的功能之IC产品。要求较高的不仅是我们想象的要在豌豆大小的面积上集成上以百万计的电子元器件，另外对于生产好的晶圆进行切割（分离）也是一项难题，然而切割技术的不成熟造成了50%以上的浪费，所以提高晶圆切割技术水平很是必要。
根据纳米定位台的Z轴大量程移动范围，高刚度的保证，微秒级的动态响应时间，超小的迟滞，稳定工作负载都符合行业领域指标。
纳米定位台使用新双传感器技术在显微镜的物镜聚焦行业，拥有精良的动态性能和精度。纳米定位平台提供埃米级的定位精度、超过100微米的总行程和小于4ms的阶跃稳定时间。
压电陶瓷的特性
压电陶瓷属于人造压电材料。压电材料是由于机械应力而可以发电的材料。当施加电压时，压电材料会发生形变。所有压电材料都是不导电的，以便产生压电效应并起作用。
产生电压
压电陶瓷产生与施加的机械应力相对应的电压。通常用作能量收集器，气体点火器和传感器以检测压力，加速度和角速度。
产生位移
压电陶瓷产生对应于施加电压的位移。这通常用于线性致动器应用，例如纳米定位和防振系统。与电子和液压执行器相比，压电陶瓷的优点是响应速度快，产生压力大以及操作共振准确。
共振性
压电陶瓷在形状和尺寸方面具有固有振动。当施加具有一定频率的电场（称为谐振频率）时，压电陶瓷会以大幅度振动，从而显示出很大的电流。此特性用于超声波振动器，例如洗衣机，加湿器，声纳，电信号过滤器和超声波马达。
